柱弧离子镀膜机
利用我公司生产的柱弧离子镀膜机，在不同硬度基体上制备了Ti／TiN／Ti(N，C)／TiC多层复合膜。膜呈深黑色，反射率小于14％，亮度值为3，小于43，沉积速率约为0.78 um/h，表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影 响较大，基体越硬、膜层越厚，膜的硬度以及与基体的结合力测试结果越大。YW2硬质合金基体上制备0.82um的黑色硬质膜 显微硬度日v(25。)=3229，结合力为26.70 N。
传统的的多弧离子镀工艺镀制TiC黑色硬质膜，工艺范围宽，但颜色不深，满足不了高档装饰镀膜的市场需要。我公司生产的柱弧离子镀膜机的弧源是细长圆柱结构，利用一个柱弧源就可以在比较大的范围内进行均匀镀膜。通过合适的磁场控制，柱弧源还可以在比较小的弧流下稳定工作。柱弧离子镀膜机的这些特点为稳定镀制富C的TiC深黑色硬质膜提供了可能。利用柱弧离子镀膜机镀制多层膜结构的深黑色硬质膜，具有工艺范围宽、颜色深等诸多优点，已成功应用于工业产品的生产。
广东振华真空科技，李伟
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