青岛福润德微电子设备有限公司
联系人：吕小姐
电话：0532-68017157
地址：城阳区北万工业园
LPCVD 用于淀积Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜。广泛应用于半导体集成电路、电力、电子、光电子及M等行业的生产工艺中。
■ 设备主要特点
◆ 对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力 实现自动控制。 ◆ 采用进口压力控制系统,闭环控制,稳定性强。 ◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。
地址:中山市小榄镇民安中路163号民安广场1幢25楼25G 联系人：张总 电话：400 000 8722 微信 baxi188699386